microfab 在表面微加工技術(shù)方面獲得了專(zhuān)業(yè)知識,專(zhuān)門(mén)用于聲學(xué) MEMS 設備的設計和串行制造,例如硅麥克風(fēng)和超聲換能器 (c-MUT)。德國microfab硅麥克風(fēng)
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