赫爾納供應德國enkoba夾具 型號LAM邊緣enkoba夾具晶圓可以按順序從載體中取出或插入載體 將損壞底層晶圓或被顆粒污染的風(fēng)險降至夾具低 晶圓不會(huì )像傳統的邊緣夾具那樣變形。這樣可以避免損壞 借助電動(dòng)夾爪,路徑、力和速度可自由編程
查看詳細介紹大連赫爾納供應德國ENKOBA夾具主動(dòng)負載固定的特點(diǎn)是工作量相對較大。為此,用于固定負載的力和/或運動(dòng)。被動(dòng)負載系固使用現有條件,因此主動(dòng)負載系固。在該示例中,鎖定凸耳通過(guò)負載搬運設備和工件之間的連接自動(dòng)創(chuàng )建。負載處理裝置設置在籃子的邊緣,兩個(gè)承載臂使用轉動(dòng)手柄推到籃子支架下方。
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