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赫爾納供應SEMCO退火爐SEMCO 集團是應用于光伏太陽(yáng)能電池量產(chǎn)的減壓加工的先驅?zhuān)碛信c該技術(shù)相關(guān)的技能。該公司幾年前就開(kāi)始提供當前的標準，當時(shí)高效光伏和大規模生產(chǎn)仍是抽象概念。通過(guò)應用公司在半導體行業(yè)制定和驗證的專(zhuān)有原則，SEMCO 集團為當今光伏市場(chǎng)中電池制造商的需求鋪平了道路。因此，SEMCO 集團不斷創(chuàng )新以滿(mǎn)足客戶(hù)需求，專(zhuān)注于改進(jìn)磷和硼發(fā)射極擴散、熱 SiOx 和 AlOx 生長(cháng)以及 SiNx 沉積。我們的業(yè)務(wù)部門(mén) SEMCO Group PVE 提供具有成本效益的解決方案，可提高太陽(yáng)能電池性能、優(yōu)化生產(chǎn)線(xiàn)吞吐量并降低運營(yíng)費用。

赫爾納供應SEMCO退火爐廠(chǎng)家優(yōu)勢：

減壓擴散間歇式管式爐，使用 POCl3 或 BCl3

應用還包括退火、氮化物、氧氮化物、多晶硅和 TEOS。

減壓氧化間歇式管式爐，濕（去離子水）或干（H2）配置

用于 SiNx 和 AlOx 沉積、鈍化和 PDA 的直接 PECVD 批量式管式爐

用于單面 c-Si 織構和拋光的等離子蝕刻間歇式管式爐

從晶圓到組件的垂直集成光伏生產(chǎn)線(xiàn)

對客戶(hù)員工進(jìn)行生產(chǎn)系統操作的培訓

生產(chǎn)系統 24/7 運行所需的消耗品和備件

工藝和生產(chǎn)階段的優(yōu)化

維護服務(wù)，包括升級和翻新設備。

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

JETLIGHT 是 Jipelec 入門(mén)級軟件控制臺式快速熱退火 (RTA) 系統。JETLIGHT 是一種緊湊而堅固的高速熱處理系統，適用于各種材料基板和結構（鋼、玻璃、c-Si 太陽(yáng)能、III-V、II-VI、鍺、超導體）的快速熱退火 (RTA)和陶瓷），最大尺寸為 2 英寸直徑。（50 毫米）。JETLIGHT 的規格和功能滿(mǎn)足希望在多用戶(hù)環(huán)境中啟動(dòng) RTP 的大學(xué)和研究中心的要求。該爐配備了管狀石英反應室，因此可以處理最大長(cháng)度為 150 毫米的三維樣品。該過(guò)程在大氣壓或真空下（使用或不使用氣體）進(jìn)行。PID 系統可在整個(gè)溫度范圍內提供準確且可重復的熱控制。?

SEMCO退火爐特征：

熱壁室設計。

基板尺寸可達 50 毫米直徑。和 150 毫米長(cháng)。

微處理器控制的晶閘管技術(shù)

最多兩 (2) 條氣體引入線(xiàn)

大氣和真空處理能力。

專(zhuān)用的過(guò)程控制軟件。

SEMCO退火爐應用：

植入物和觸點(diǎn)的快速熱退火 (RTA)

快速熱氧化 (RTO) 和氮化 (RTN)

快速熱擴散 (RTD) - 例如旋涂摻雜劑

結晶、致密化和結構應力松弛

赫爾友道，融中納德-----我們杜絕假貨，我們價(jià)格低廉，我們保證品質(zhì)！

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