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加熱式電容膜片真空計(jì)EdgeTM CDG100D2

點(diǎn)擊次數(shù)：139 更新時(shí)間：2024-11-19

加熱式電容膜片真空計(jì)EdgeTM CDG100D2

INFICON Edge電容膜片真空計(jì)是專(zhuān)為惡劣制造環(huán)境設(shè)計(jì)

的高精度真空測(cè)量?jī)x器。成熟的控溫、防腐蝕、超純陶瓷

傳感器能長(zhǎng)期提供出眾的量程穩(wěn)定性，而且具有

的霧位穩(wěn)定性。Edge 隨附INFICON 已獲傳感

器屏蔽，用于保護(hù)真空計(jì)，使其免受不需要的過(guò)程副產(chǎn)品

的影響。先進(jìn)的電子元件能為所有應(yīng)用提供范圍廣泛的可

配置信號(hào)調(diào)節(jié)，另外還有EtherCAT 現(xiàn)場(chǎng)總線(xiàn)接口可供選

擇。創(chuàng)新的加熱概念能夠使接觸表面保持低溫，并節(jié)約寶

貴的工具空間。INFICON Edge是同類(lèi)產(chǎn)品中最小的真空

測(cè)量?jī)x器。

圖片9.png

優(yōu)勢(shì)

·緊湊型，節(jié)省寶貴的工具空間

·易于集成， EtherCAT, 各種滿(mǎn)刻度和法蘭，標(biāo)配兩個(gè)

設(shè)定點(diǎn)

·輕松一鍵調(diào)零或遠(yuǎn)程信號(hào)調(diào)零指令，可調(diào)零點(diǎn)偏移

·診斷端口用于快速維修和維護(hù)

·兩年保修服務(wù)，先進(jìn)的加熱概念和真空計(jì)保護(hù)延長(zhǎng)了使

用壽命

·信號(hào)穩(wěn)定性和可重復(fù)性，即使是最嚴(yán)苛的等離子

應(yīng)用，都無(wú)需長(zhǎng)期執(zhí)行重新校準(zhǔn)

·合規(guī)和標(biāo)準(zhǔn)： CE、EN、UL、SEMI、RoHS

應(yīng)用范圍

·CVD、蝕刻、PVD 及其他半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程

EdgeTM CDG100D2

訂購(gòu)資料

1) 優(yōu)化的壓力控制信號(hào)濾波器設(shè)置

2) 不能使用現(xiàn)場(chǎng)總線(xiàn)接口

粗體=標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品

其他法蘭類(lèi)型可按要求提供。

EdgeTM CDG100D2

規(guī)格

1) 在25°℃環(huán)境運(yùn)行溫度下表現(xiàn)為非線(xiàn)性、滯后、再現(xiàn)性，運(yùn)行兩小時(shí)后無(wú)溫度效應(yīng)

2) 環(huán)境溫度>40°℃,可能會(huì)使表面溫度高于SEMI S2合規(guī)水平—標(biāo)記“小心燙傷!"

3) 增加10.…90% FS

4) 18%Cr、10%Ni、3%Mo、69%Fe

EdgeTM CDG100D2

尺寸mm(inch)

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