HNPM高性能泵在晶圓鍵合涂層設備的應用案 |
點(diǎn)擊次數:1690 更新時(shí)間:2022-08-15 |
德國HNP Mikrosysteme(下文簡(jiǎn)稱(chēng)為“HNPM”)公司專(zhuān)注研發(fā),制造和銷(xiāo)售微型齒輪微量泵。該泵能快速、精準輸送填充微量液體,并成熟應用與生命科學(xué)和分析儀器領(lǐng)域、機械和微型工程、化學(xué)和制藥工藝工程等領(lǐng)域。HNPM公司還提供開(kāi)發(fā)配料系統的客戶(hù)定制服務(wù)。 HNPM微環(huán)形齒輪泵主要產(chǎn)品: HNPM高性能泵、HNPM低壓泵、HNPM惰性密封泵、HNPM模塊泵、HNPM磁性密封齒輪泵5大系列。 HNPM高性能泵mzr-7205在晶圓鍵合涂層設備的應用案例: SUSS MicroTec集團ACS200 GEN3自動(dòng)涂布機既包含大量的創(chuàng )新設計,又結合了Gamma和ACS200Plus平臺的最佳優(yōu)點(diǎn)。最多能夠配備4個(gè)涂膠顯影模塊和19個(gè)冷熱板,非常適合大規模生產(chǎn)。該平臺具有的模塊配置靈活性,其技術(shù)不僅可以滿(mǎn)足先進(jìn)封裝、MEMS和LED等應用要求,同時(shí)也適合研發(fā)和大規模生產(chǎn)的需求。在這個(gè)平臺上使用HNPM高性能泵mzr-7205,實(shí)現了高精度、低脈動(dòng)、低體積劑量,介質(zhì)是丙酮與光刻膠。 SUSS選用HNPM高性能泵mzr-7205的要求: ?低脈動(dòng)、可重復的體積流量。 ?體積流量與線(xiàn)速度的動(dòng)態(tài)適應性。 ?緊湊型計量泵 ?集成微控制器 ?控制系統的簡(jiǎn)單集成 HNPM高性能泵mzr-7205特點(diǎn): HNPM高性能泵mzr-7205的流量范圍為0.048-288 ml/min,HNPM高性能泵mzr-7205的主要特點(diǎn)高精度、低脈動(dòng)、低體積劑量(即使是非潤滑液體)或高壓、緊湊設計和集成微控制器。HNPM高性能泵mzr-7205允許在較寬的粘度范圍內給藥,并顯示出較小的經(jīng)濟尺寸。HNPM高性能泵mzr-7205以工業(yè)生產(chǎn)和工藝技術(shù)應用為主。HNPM高性能泵mzr-7205設計用于連續輸送和離散劑量的水、水溶液、溶劑、甲醇、油、潤滑劑、粘合劑、油墨和油漆以及其他高粘度液體。 HNPM高性能泵其他型號: mzr-2505、mzr-2905、mzr-4605、mzr-7205、mzr-11508等
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